水基凝聚核粒子計(jì)數(shù)器簡(jiǎn)介:

在硬盤(pán)和TFT-LCD的生產(chǎn)過(guò)程中以及半導(dǎo)體產(chǎn)品的處理過(guò)程中對(duì)懸浮粒子的實(shí)時(shí)監(jiān)控是非常重要的。這款水基凝聚核粒子計(jì)數(shù)器(WCPC)的設(shè)計(jì)可以滿足較高等級(jí)潔凈室的檢測(cè)需要。它的小采樣粒徑可以達(dá)到 10 nm, 而且采樣流量高達(dá)2.83 L/min,可以快速采樣或者按照指定流量進(jìn)行采樣?？娠@示粒子濃度、總粒子數(shù)或者濃度變化圖表。

優(yōu)點(diǎn):

? 快速響應(yīng) 

? 高采樣流速 

? 水基

? 兼容 SMPS 系統(tǒng)

? 小檢測(cè)粒徑達(dá)到 7 nm

? 高等級(jí)潔凈室監(jiān)測(cè)

? 可遠(yuǎn)程控制

參數(shù):

? 計(jì)數(shù)效率:50 % @ 7 nm  NaCl 粒子

          100 % @ 10nm  NaCl 粒子

? 采樣流量:

    - 1.0 L/min for 4322

    - 2.83 L/min (0.1 cfm) for 4323

? 工作用液體: 去離子水 (推薦使用)

? 大檢測(cè)濃度:

    - 285.7 X 106 particles / ft3 for 4322

    - 285.7 X 105 particles / ft3  for 4323

? jing度:

    - ±10 % up to 285.7 X 106 particles / ft3 for 4322

    - ±10 % up to 285.7 X 105 particles / ft3 for 4323

? 12小時(shí)背景誤計(jì)數(shù)

    - 0.001 particles/cm3 for 4322

    - 0.0005 particles/cm3 for 4323

? 響應(yīng)時(shí)間(在測(cè)試濃度發(fā)生變化的情況下):

    - < 5 seconds for 95 % for 4322

    - < 2 seconds for 95 % for 4323

 ? 數(shù)據(jù)通訊:以太網(wǎng)LAN接口, USB 接口或 RS232

 ? 操作系統(tǒng):內(nèi)置Windows XP

 ? 數(shù)據(jù)儲(chǔ)存：FDM (Flash Disk Module) 2GB

可擴(kuò)展到 60GB

? 氣源:內(nèi)置無(wú)刷直流氣泵

? 外形尺寸 (L×H×W) :320 × 315 × 260 mm

? 重量:13.4 kg

? 電源:100~240 VAC, 50~65 Hz